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在光刻胶显影中,实时检测衍射光的强度可在GaAs基片上制作高质量的光栅。本文着重分析这种实时监测技术中衍射光强随显影程度的变化规律,指出最佳显影终止点。分析与实验符合良好。
GaAs基片上制作优质衍射光栅的实时监测技术的分析
【摘 要】
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在光刻胶显影中,实时检测衍射光的强度可在GaAs基片上制作高质量的光栅。本文着重分析这种实时监测技术中衍射光强随显影程度的变化规律,指出最佳显影终止点。分析与实验符合
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1990年2期
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