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介绍一种制作电阻式湿度传感器的革新工艺,使电阻值减小,电极间隙仅10μm,能检测狭小空间的湿度,具有长期稳定性,易于实现小型化。
电阻式湿度传感器制作工艺的革新
【摘 要】
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介绍一种制作电阻式湿度传感器的革新工艺,使电阻值减小,电极间隙仅10μm,能检测狭小空间的湿度,具有长期稳定性,易于实现小型化。
【机 构】
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安徽立达信息技术研究所
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2007年7期
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