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为研究Si纳米晶粒的平均尺度与复合薄膜光吸收特性的关系，在研究了电学特性的基础上，研究了该类复合薄膜的光吸收特性。实验结果表明，复合薄膜的光吸收特性与薄膜的热处理温度有很强的对应关系。650℃热处理的样品显示出最大的电导和较强的PL吸收峰（峰位为2．10ev），此时吸收系数达到最大值。
Si纳米晶SiO2复合薄膜的光吸收特性研究
【摘 要】
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为研究Si纳米晶粒的平均尺度与复合薄膜光吸收特性的关系，在研究了电学特性的基础上，研究了该类复合薄膜的光吸收特性。实验结果表明，复合薄膜的光吸收特性与薄膜的热处理温度有
【机 构】
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北京机械工业学院基础部
【出 处】
：
北京机械工业学院学报
【发表日期】
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2002年1期
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