离子束增强沉积TiN薄膜的耐蚀性

来源 :大连交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:king269
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采用不同离子束入射方向的离子束增强沉积技术(IBED)在W18Cr4V高速钢表面沉积TiN薄膜.利用阳极极化曲线测试技术研究TiN薄膜在0.5mol/L H2SO4和3% NaCl溶液中的耐蚀性.结果表明:在0.5mol/LH2SO4溶液中,离子束入射角度为45°时的TiN薄膜的阳极极化曲线呈现自钝化,自腐蚀电位Ecorr由原始高速钢的-400 mV增至-71 mV,致钝电流密度ib和维钝电流密度ip分别比原始试样降低4个和2个数量级,耐蚀性能显著提高.在3% NaCl溶液中,离子束入射角度分别
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