【摘 要】
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镱材料具有压阻特性,其压阻系数比锰铜、碳等压阻材料要高得多。本文介绍了利用这一特性设计制作的箔式镱大压力传感器,并介绍了其工作原理和设计制作中的关键要点,以及在工
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镱材料具有压阻特性,其压阻系数比锰铜、碳等压阻材料要高得多。本文介绍了利用这一特性设计制作的箔式镱大压力传感器,并介绍了其工作原理和设计制作中的关键要点,以及在工艺上需解决的关键问题。
Ytterbium material with piezoresistive properties, the piezoresistive coefficient than manganese, carbon and other piezoresistive material is much higher. This paper introduces the foil ytterbium pressure sensor designed by this feature, introduces the key points of its working principle and design, as well as the key issues to be solved in the process.
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