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Ti—B—N薄膜沉积过程中离子轰击的效应
Ti—B—N薄膜沉积过程中离子轰击的效应
来源 :中国陶瓷 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wtbcgs
【摘 要】
:
使用活化离子镀和N离子轰击Ti-B薄膜制备了Ti-B-N薄膜,研究了Ti-B-N薄膜沉积过程离子轰击的效应。结果表明离子轰击具有增强界面扩散,激发化学反应的作用。特别是离子轰击可使小区域内产生高温高
【作 者】
:
越南方
杨巧勤
【机 构】
:
中南工业大学粉末冶金研究所,湖南大学材料测试研究中心
【出 处】
:
中国陶瓷
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
薄膜
离子轰击
沉积
离子镀
镀膜
陶瓷
Ti-B-N filmIon bombardmentMetastable phase
【基金项目】
:
湖南省自然科学基金
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使用活化离子镀和N离子轰击Ti-B薄膜制备了Ti-B-N薄膜,研究了Ti-B-N薄膜沉积过程离子轰击的效应。结果表明离子轰击具有增强界面扩散,激发化学反应的作用。特别是离子轰击可使小区域内产生高温高压,使局部区域成为立方BN的稳态生长区,而获得亚稳相立方BN。
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