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压痕硬度受材料堆积，沉陷影响明显，通过有限元仿真技术分析了材料性能和压人深度对堆积／沉陷的影响，结果表明，随着弹性模量与屈服强度比、压入深度增加或硬化指数减小，材料的沉陷量减小而堆积量增加；当弹性模量与屈服强度比相对较小时．堆积／沉陷受硬化指数的影响较明显。根据建立的等效应变与材料堆积／沉陷的拟合函数关系．可以判断压痕过程的堆积／沉陷状态．从而对计算得到的压痕硬度的准确性进行评判。