动态微位移量的自动干涉测量系统

来源 :南京理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xinxing1983
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该文介绍一种可进行动态微位移测量的自动干涉测试系统。它在接触式干涉仪的基础上,配置了光电探测、图像捕获器件及微机和干涉图处理软件包等,其动态测量范围为0~20μm(可调),精度优于0.02μm。文中介绍了硬件配置和干涉图的分析处理原理,并提供了对压电陶瓷堆特性曲线的精确测试实例。 This article describes an automatic interference measurement system that can perform dynamic micro-displacement measurements. It is based on the contact interferometer, equipped with photoelectric detection, image capture devices and computer and interferogram processing software package, the dynamic measurement range of 0 ~ 20μm (adjustable), the accuracy is better than 0.02μm. In this paper, the principle of analysis and processing of hardware configuration and interferogram is introduced and an example of accurate test of the characteristic curve of piezoelectric ceramic stack is provided.
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