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采用溶胶-凝胶法在玻璃基体表面制备纳米SnO2薄膜，通过热处理使其晶化。通过原子力显微镜（AFM）形貌分析表明，在20～80nm的粒径范围内，可通过工艺配方参数的调整人为控制SnO2薄膜的颗粒大小。通过工艺优化制得粒径为27nm左右的薄膜，薄膜颗粒较小，分布均匀，薄膜的透明性好。X射线衍射（XRD）结果表明，随着热处理温度的增加，SnO2特征峰愈来愈尖锐明显，晶体结构趋于完全。Zeta电位分析表明，添加分散剂溶胶的Zeta电位比未添加分散剂溶胶的Zeta电位高；Zeta电位越高，溶胶稳定性越好。