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基于多元素靶溅射的Andersen-Sigmund关系式,分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关。只要给各元素之间设定适当的表面结合能比,就能计算出稳定态表面化学成分,计算结果与实验值一致。因为文中所分析的实验数据是在常温下取得的,所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析。