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针对能量色散X荧光分析（EDXRF）技术中元素间效应实验研究的难点问题，采用蒙特卡罗方法对基于Si（PIN）探测器的EDXRF系统建立模拟模型，并对模拟微束软X射线注量谱建立了高斯展宽算法。对Fe—Ni样品进行模拟计算，表明经该算法展宽后的注量谱与实测Ka系特征X射线谱吻合度较高，并得到了各元素特征x射线归一计数与元素含量关系曲线，结果表明该方法可自行校正EDXRF中元素间效应，获得准确的元素Ka系特征X射线谱理论强度。