论文部分内容阅读
从对硅微加速度计的材料特性、微结构特性研究着手,通过对现有类型加速度计进行分析与整合,设计出一种新的硅微结构及与之匹配的微检测电路,最后通过仿真表明该加速度计具有良好的功能特性.
一种振梁电容式硅微加速度计的设计与分析
【摘 要】
：
从对硅微加速度计的材料特性、微结构特性研究着手,通过对现有类型加速度计进行分析与整合,设计出一种新的硅微结构及与之匹配的微检测电路,最后通过仿真表明该加速度计具有
【机 构】
：
沈阳理工大学信息科学与工程学院
【出 处】
：
沈阳工业学院学报
【发表日期】
：
2004年4期
其他文献
本文选用25合金钢作为新一代低温阀门钢的实验材料。研究分析深冷处理时间和次数对25合金钢组织和性能影响规律。研究结果表明淬火后组织为细小的板条马氏体,深冷处理后组织
采用化学成分分析、金相显微镜、扫描电镜及能谱仪等分析手段分析了45钢销轴经机加工后出现的表面发纹。结果表明:原材料中含有的大颗粒夹杂物是产生发纹的主要原因,夹杂物在
农机成为当前农民新的投资热点———靖江市红光乡农户大发农机财靖江市红光乡最近涌现出１３５家农机作业服务户，成为率先致富的“出头鸟”。据该乡农机站调查统计，这１３５户去年人均纯收
NEMIS是一个基于Internet的远程培训系统,它采用B/S结构.本文重点介绍了其子模块基于WEB的视频教学系统的设计与实现,针对该系统的设计思想、构成和实现作了分析讨论.
<正> 一、裂解装置废热锅炉腐蚀破损分析 1、腐蚀破损情况废热锅炉是将裂解气余热回收和防止裂解气二次裂化的一种热交换器。这台锅炉是由西德施密特(Schmidt)公司生产的SHG
利用傅立叶变换红外光谱对黄柏、生地和白术的品质进行了快速鉴别.结果表明,不同质量的黄柏、生地和白术均有其各自的特征红外光谱.根据红外光谱的特征峰形和位置可以容易地
研究了模拟退火遗传算法在移动通信系统多用户检测中的应用,通过分析系统框图、遗传算法和模拟退火算法的性能,对将其利用于多用户检测器中的可行性进行了理论阐述并进行了仿