原位反射率测量在制备金刚石X光窗口上的应用

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【摘要】

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通过反射率的原位测量和曲线拟合,研究了薄膜的生长过程并实时确定了它的光学性质.研究的结果与扫描电子显微镜(SEM)照片、X射线衍射(XRD)和α-step表面轮廓等非原位测试的结

【作者】

：

骆金龙应萱同陈良尧

【机构】

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复旦大学信息学院光科学与工程系

【出处】

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核技术

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

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CVD金刚石原位反射率软X光透射率 CVD diamond In-situ Reflectivity Soft X-ray Transmissi

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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通过反射率的原位测量和曲线拟合,研究了薄膜的生长过程并实时确定了它的光学性质.研究的结果与扫描电子显微镜(SEM)照片、X射线衍射(XRD)和α-step表面轮廓等非原位测试的结果符合良好.应用该研究成果,成功地制备了一种通光直径为4-8 mm的无依托超薄金刚石X光高透射率窗口.样品测试完毕后均完好无损,显示了其低吸收和抗高辐射的良好特性.

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