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<正> 一般根据膜衬底XPS峰强的衰减与膜厚的关系即可判断硬脂酸类LB膜的成膜质量,本文利用角分辨XPS技术,根据硬脂酸铜LB膜持征的羧基碳与样品中的总体碳Cls,蜂强度的比值（r）在不同电子出射角时的变化（△r）,与无序粉末样品比较得出了成膜质量与△r间的对应关系,提出了一种利用XPS监测成膜质量的方法。