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采用溶胶一凝胶法制备纳米二氧化钛（TiO2）薄膜，扫描电镜观察薄膜比较均匀，成膜性好，通过X射线电子能谱（EDS）分析了薄膜成分。X射线衍射（XRD）分析表明纳米TiO2薄膜呈现锐钛矿和金红石晶型。光致发光（PL）谱结果表明，荧光峰对应着不同的发光中心，且相对体相TiO2的理论值有明显的蓝移，有很好的荧光特性。