“高表面完整性加工”专题序言

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<正>高表面完整性加工为各种超精密机械零件及光电元器件制造所必需,在提高产品的性能、质量及寿命等方面发挥着十分重要的作用。而超精密磨削、抛光及各种特种加工技术能够得到具有纳米级甚至亚纳米级表面粗糙度、亚微米级面形精度、极低亚表面损伤的高完整性表面,适用于晶体、金属、玻璃、陶
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