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为了研究衬底多孔硅（PS）的孔隙对硫化锌／多孔硅（ZnS／PS）复合体系的光学性能和电学性质的影响，采用脉冲激光沉积方法在不同孔隙度的PS衬底上沉积了硫化锌薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、荧光分光光度计和，l-V特性曲线分别研究了PS衬底上ZnS薄膜的晶体结构、表面形貌和ZnS／PS复合体系的光学和电学性质。结果表明，沉积的ZnS薄膜呈立方相晶体结构，沿β-ZnS（111）晶向择优取向生长。随着衬底PS孔隙的增多，ZnS薄膜衍射峰的强度减小，且薄膜表面出现一些空洞和裂缝；在ZnS／PS复合体系的光