脉冲激光沉积PMN-PT薄膜及其性能研究

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以较低温度烧结获得的PMN—PT块材料为靶,采用脉冲激光沉积方法在石英衬底上制备了PMN—PT薄膜,研究了后续退火处理对PMN—PT薄膜的结构及光学特性的影响.结果显示,采用脉冲激光沉积可获得质量较好的钙钛矿结构的PMN—PT薄膜,优化的后续退火温度大约在550℃~750℃之间.
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