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在微机电系统中,微执行器是核心部件.为了优化设计微执行器,通过对比近年来各种微执行器的研究和发展,系统地总结了线性位移微执行器所采用的驱动原理、驱动方式和应用以及存在的优缺点等.针对热执行器,提出了个人的一些见解.
微执行器的研究与展望
【摘 要】
：
在微机电系统中,微执行器是核心部件.为了优化设计微执行器,通过对比近年来各种微执行器的研究和发展,系统地总结了线性位移微执行器所采用的驱动原理、驱动方式和应用以及存
【机 构】
：
南昌大学机电工程学院,南昌大学机电工程学院
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
：
2005年12期
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