论文部分内容阅读
本文介绍可变矩形束曝光机的曝光原理及其控制,叙述了两种曝光方式的工作过程,并介绍了在曝光过程中的数据调度。最后评价两种曝光方式的优缺点及适用场合。
可变矩形束曝光机的曝光方式和曝光数据调度
【摘 要】
：
本文介绍可变矩形束曝光机的曝光原理及其控制,叙述了两种曝光方式的工作过程,并介绍了在曝光过程中的数据调度。最后评价两种曝光方式的优缺点及适用场合。
【机 构】
：
中国科学院电工研究所,中国科学院电工研究所
【出 处】
：
电工电能新技术
【发表日期】
：
1991年3期
其他文献
光纤传感器几乎对任何物理或化学现象都有敏感作用。它们不仅价格低,而且灵敏度高、坚固、重量轻和具有合适的几何尺寸。它也能抗电磁干扰、防腐蚀、耐高温,可方便地应用于遥
信息化平台是一项新兴的先进制造技术,可以从区域层面大幅度提升企业群体的信息化应用水平.针对山西省制造类企业的应用需求,提出了信息化平台的应用目标、体系结构、关键技
KBE技术是近年来在产品设计领域的研究热点之一,它是下一代智能化CAD系统的核心技术。在研究KBE的内涵的基础上,结合网络技术和数据库技术,讨论了网络化KBE系统的体系架构和系统的知识流向以及实现系统的关键技术。结合起重机的设计实践,开发了网络化的KBE系统。
高中物理学科知识是高中教学阶段中的重要组成,具有较强的学习挑战性和探究性。所以,学生为了提高自身的学习效率,需要提高自身的物理思维能力和知识理解能力,并且,物理教师
临床护理教学是护理教育的最后阶段,也是培养学生理论和实践相结合的初始阶段,如何做好护理带教工作,使学生学到的知识能够和实际紧密结合,在实践中得到理解和验证,已成为临
对凸轮机构和凸轮连杆机构的精度分析与综合进行了系统的研究.建立了凸轮机构精度分析的统一随机模型,为凸轮机构的精度分析打下了理论基础.提出了一种机构精度综合的修正等
以一改进型电子送经机构为分析对象,在其动力学模型基础上,结合特征系统实现算法,对实测数据进行系统参数识别,实现对所建理论模型正确性的验证,并在固有频率上取得了一致性.
缩短产品开发时间和提高设计质量需要采用正确的产品开发方法,产品开发方法与产品结构有密切关系.介绍了产品开发流程再造方法的基本概念,重点分析了基于设计结构矩阵(DSM)的