【摘 要】
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简述了微束分析仪器电子探针（EPMA）和扫描电镜（SEM）的原理和功能,对比了波谱仪（WDS）和能谱仪（EDS）的差异。使用这两类仪器对稀土镁合金、铝合金焊接区域及镍合金渗碲实验样品进行了测
【机 构】
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中国科学院上海应用物理研究所,岛津企业管理（中国）有限公司
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简述了微束分析仪器电子探针（EPMA）和扫描电镜（SEM）的原理和功能,对比了波谱仪（WDS）和能谱仪（EDS）的差异。使用这两类仪器对稀土镁合金、铝合金焊接区域及镍合金渗碲实验样品进行了测试和分析。结果表明镁合金中稀土的分布主要富集于晶界但不连续;铝合金焊接区域的元素存在局部偏聚现象;碲在镍基合金晶界富集,并沿着晶界向基体扩散。这些不同类金属的元素分布特征都可以在EPMA的面分析结果上直观体现出来。同时对比了EDS和WDS的性能,在微区分析中WDS的分辨率和灵敏度均较EDS更有优势。
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