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基于硅MEMS敏感结构的光学检测声传感器
基于硅MEMS敏感结构的光学检测声传感器
来源 :中国电子科学研究院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aionkina
【摘 要】
:
介绍了一种基于硅基MEMS敏感结构的光学式声传感器,对其工作原理及设计进行了分析与研究,尤其是对感声膜结构,提出将波纹结构引入到传统硅基平膜芯片中,利用MEMS技术制作具有
【作 者】
:
王伟
栾剑
史鑫
陈信琦
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第49研究所
【出 处】
:
中国电子科学研究院学报
【发表日期】
:
2011年3期
【关键词】
:
MEMS
光学检测
声传感器
灵敏度
MEMS
optical detection
acoustics sensor
sensitivity
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介绍了一种基于硅基MEMS敏感结构的光学式声传感器,对其工作原理及设计进行了分析与研究,尤其是对感声膜结构,提出将波纹结构引入到传统硅基平膜芯片中,利用MEMS技术制作具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片,并制作传感器样品。经样品测试,灵敏度达30 mV/Pa。
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