基于绝缘层上硅平坦化阵列波导光栅的单纤三向器

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qweasdzxc34

【摘要】

：

设计了基于绝缘层上硅（SOI）平坦化阵列波导光栅单纤三向器.三向器三个波长（1310,1490和1550nm）工作在阵列波导光栅的三个不同的衍射级数,并在阵列波导光栅的输入波导末端引入多模

【作者】

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安俊明吴远大李健王红杰李建光李俊一胡雄伟

【机构】

：

中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心,中国计量科学研究院

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2008年8期

【关键词】

：

集成光学阵列波导光栅单纤三向器 integrated optics arrayed waveguide grating triplexer

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划（批准号：2006AA032420,2007AA032420）和国家自然科学基金（批准号：60776057）资助项目

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设计了基于绝缘层上硅（SOI）平坦化阵列波导光栅单纤三向器.三向器三个波长（1310,1490和1550nm）工作在阵列波导光栅的三个不同的衍射级数,并在阵列波导光栅的输入波导末端引入多模干涉器（MMI）,实现了平坦响应的三波长波分复用.模拟结果表明基于这一设计的三向器3dB带宽为6nm,串扰小于-40dB,插损为5dB.制备的三向器经测试输出光场清晰,实现了三向器的功能.

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