SAW filter with AIN on diamond

来源 :金刚石与磨料磨具工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hongnanjing

【摘要】

：

Diamond surface acoustic wave(SAW) has been used to boost the frequency of thin film filters made of piezoelectric materials.Many designs have been tested and w

【作者】

：

Song Jen-hao Sung James C. Cha

【机构】

：

NationalCheng-KungUniversity,KINIKCompany,NationalTaiwanUniversity,NationalTaipeiUniversityofTechnol

【出处】

：

金刚石与磨料磨具工程

【发表日期】

：

2008年S1期

【关键词】

：

SAW FILTER DIAMOND film AIN BORON DOPING SAW filterdiamond filmAINboron doping

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Diamond surface acoustic wave(SAW) has been used to boost the frequency of thin film filters made of piezoelectric materials.Many designs have been tested and with significant results,in particular,AlN on diamond(AlNoD) as the interface for transmitting R

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