【摘 要】
：
研究了用HP 4500型 ICP-MS方法分析半导体用浓氢氟酸中的痕量杂质.在半导体业,所用试剂要求在10 ng·ml-1级.采用样品直接稀释法,在优化的实验条件下,采用HP 4500型ICP-M
【机 构】
：
北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司
论文部分内容阅读
研究了用HP 4500型 ICP-MS方法分析半导体用浓氢氟酸中的痕量杂质.在半导体业,所用试剂要求在10 ng·ml-1级.采用样品直接稀释法,在优化的实验条件下,采用HP 4500型ICP-MS实现了样品中Na,Mg,Al,K,Ca,Cr,Fe,Ni,Cu,Pb,10种杂质元素的同时测定,降低了样品玷污的可能性.屏蔽炬系统和冷等离子体的使用,很大程度上提高了检出限,使K,Ca和Fe获得令人满意的测量结果.所有元素的测定均在相同条件下进行,检出限为0.8～20 ng·ml-1.
其他文献
对围绕党的十八届三中全会提出的“推进国家治理体系和治理能力现代化”命题所作的研究作了五个方面的梳理:我国国家治理治理体系的思想渊源和历史底蕴,完善的现实要求,发展
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
<正>黔府办函[2016]89号各市、自治州人民政府,贵安新区管委会,各县(市、区、特区)人民政府,省政府各部门、各直属机构:经省人民政府同意,现将《贵州省农村中小学校医配置实
2018年省经信委工作要全面贯彻党的十九大精神,以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导,坚持稳中求进工作总基调,践行新发展理念,围绕建设现代化经济体系,以供给侧结构性
目的分析康妇消炎栓用于宫颈良性病变聚焦超声治疗术后临床疗效。方法将宫颈良性病变行聚焦超声治疗的患者600例，根据其依从性分为3组：A组为康妇消炎栓组，于术后常规口服抗生素
探究性学习作为一种学习方式，有利于学生在短时期内学到学科的基本知识和掌握学科的结构。在生物教学中采取探究性学习策略，有助于学生理解并识记课本的基础知识；有助于培养学生
工作记忆与人类的认知活动息息相关。人们的日常工作、学习以及生活都离不开它的影响。已有的研究发现许多精神疾病的产生都和工作记忆障碍有着直接关系,研究工作记忆的生理机制对探究精神类疾病的产生以及诊断有着重要意义。近年来随着相关技术的不断发展,研究人员采用各种方法来研究工作记忆的生理机制,包括弥散张量成像(Diffusion Tensor Imaging,DTI)、磁共振成像(Magnetic Reso
铜带变色可以由环境因素引起的 ,也可以由工艺因素和环境因素共同作用引起 ,而且后者造成的铜带变色程度深、速度快 ,危害也更大。该文主要从铜带生产工艺的角度 ,论述铜带变
黔府函[2013]165号省交通运输厅、省物价局、省财政厅:你们《关于大兴至思南高速公路设站收取车辆通行费有关事宜的请示》(黔交呈[2013]87号)收悉。现批复如下:一、同意大兴
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技