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介绍了面向固晶装备的光学定位控制系统的工作原理，并阐述了其系统硬件设计方案和软件实现。阐述了其运动控制部分采用基于PCI总线的运动控制卡与工控机相结合的方案，分析了视觉定位模块、执行机构等辅助实现运动控制的原理，该系统具有高精度、高速度、人机交互性好等特点。本系统在实验室通过了实验验证。
面向固晶装备的光学定位控制系统设计
【摘 要】
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介绍了面向固晶装备的光学定位控制系统的工作原理，并阐述了其系统硬件设计方案和软件实现。阐述了其运动控制部分采用基于PCI总线的运动控制卡与工控机相结合的方案，分析了视
【机 构】
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清华大学深圳研究生院制造技术与系统研究所
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
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2008年7期
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