【摘 要】
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Carbon microcoils were deposited onto Al2O3 substrates using C2H2/H2 as source gases and SF6 as an incorporated additive gas in a thermal chemical vapor deposit
【机 构】
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CenterforGreenFusionTechnologyandDepartmentofEngineeringinEnergy&,AppliedChemistry,OnnuriInternat
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Carbon microcoils were deposited onto Al2O3 substrates using C2H2/H2 as source gases and SF6 as an incorporated additive gas in a thermal chemical vapor deposition system. At as-grown state, the carbon coils (d-CCs) show the diverse geometry. The geometry
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