【摘 要】
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1.引言 透射电子显微镜(TEM)有三个主要构件:电子枪;物镜和测角器。每一构件的不稳定都会降低显微镜的性能,既影响高分辨率TEM图像,也会在微探针分析时产生漂移。其中测角器
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1.引言 透射电子显微镜(TEM)有三个主要构件:电子枪;物镜和测角器。每一构件的不稳定都会降低显微镜的性能,既影响高分辨率TEM图像,也会在微探针分析时产生漂移。其中测角器及其样品台的性能取决于高真空技术、机械精度和稳定性。手动测角器已较好地运行了很多年,为后续产品
1. Introduction Transmission electron microscopy (TEM) has three main components: electron guns; objective and goniometer. The instability of each component will reduce the performance of the microscope, affecting both high-resolution TEM images and drift during microprobe analysis. The performance of the goniometer and its sample stage depends on high vacuum technology, mechanical precision and stability. Manual goniometers have been well run for many years as follow-up products
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