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针对高冲击加速度测量，分别就硅微加速度传感器等载面和变载面悬臂枯不同结构尺寸下的应力状及固有频率进行了有限元数值模拟；对等截面和变截面悬臂梁结构的灵敏度进行了分析比较和数值计算，结果都说明了采用变截面悬臂梁结构，灵敏度可提高近30％；对选择的变截面悬臂梁结构的加速度传感器其量程为10000gn，有足够的抗过载能力，且横向灵敏度足够小。