【摘 要】
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采用大气等离子喷涂技术制备SiO2膜压电材料，利用XRD和SEM研究其组织结构，同时对其介电常数ε、介电损耗tanδ、压电常数d33，、机械品质因数Q等性能进行测试。结果表明：采用大气
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采用大气等离子喷涂技术制备SiO2膜压电材料，利用XRD和SEM研究其组织结构，同时对其介电常数ε、介电损耗tanδ、压电常数d33，、机械品质因数Q等性能进行测试。结果表明：采用大气等离子喷涂工艺可制备出相结构主要由α-石英和α-方石英共同组成组织较为致密、缺陷较多的SiO2压电膜，压电常数如和介电常数晶随膜厚度的增加而增加，介电损耗tanδ随膜厚度的增加而减小；介电常数研、介电损耗tanδ、机械品质因数Q随频率的增加而减小，当SiO2膜厚为5mm，压电常数d33最大值为2．3pC／N。
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