一种射频微机械可变电容的设计与优化

来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：leoncici617

【摘要】

：

提出了一种高Q值、宽调节范围的凹型结构微机械可变电容.它由4个(3对)极板构成,其中一对为电容极板,另外两对为控制极板.RF信号通过电容极板传输,而直流控制电压则施加在控制

【作者】

：

李丽赵正平张志国吕苗

【机构】

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河北工业大学,中国电子科技集团公司第十三研究所,中国电子科技集团公司第十三研究所

【出处】

：

中国机械工程

【发表日期】

：

2005年z1期

【关键词】

：

射频微机械可变电容高Q值宽调节范围

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提出了一种高Q值、宽调节范围的凹型结构微机械可变电容.它由4个(3对)极板构成,其中一对为电容极板,另外两对为控制极板.RF信号通过电容极板传输,而直流控制电压则施加在控制极板上.使用HFSS软件对该电容进行了结构仿真及优化,得到最大Q值为171(1.6GHz).结构优化后,调节范围为15.6,并设计了该电容的工艺流程,具有工艺简单、易与标准的IC电路集成等优点.

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