论文部分内容阅读
为克服现有CO气体传感器精度低，工作温度高，成本高的缺点，在ST切型石英晶片上成功实现了一种新型的室温下延迟线型声表面波CO气体传感器。传感器采用双通道延迟线结构，在一条延迟线路上采用光刻技术构造出一个方形敏感区，将掺杂有In2O3的聚苯胺CO气体敏感材料覆盖在方形敏感区形成敏感膜（0.5～1．2／Im）。在-40～＋85℃间的CO气体中，对此气体传感器进行测试实验，实验结果显示该声表面波CO传感器具有好的敏感性、快的敏感速度和恢复速度、高的精度。