【摘 要】
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本文就直流等离子体反应溅射、射频二极管反应溅射、反应蒸发、激活反应蒸发、离子束辅助淀积、增强化学汽相淀积及直流反应高速溅射这几种镀膜工艺,概要介绍TiO_2光学单层薄
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本文就直流等离子体反应溅射、射频二极管反应溅射、反应蒸发、激活反应蒸发、离子束辅助淀积、增强化学汽相淀积及直流反应高速溅射这几种镀膜工艺,概要介绍TiO_2光学单层薄膜的相结构和光学特性。
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