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介绍了用硅一蓝宝石材料制作的通过采用双膜片结构及真空高温烧结工艺制成的高温压力传感器，并利用电路温度补偿来提高传感器高温压力的测量精度。３５０℃下测得传感器的准确度为 ０．１％。
双膜片的硅—蓝宝石高温压力传感器
【摘 要】
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介绍了用硅一蓝宝石材料制作的通过采用双膜片结构及真空高温烧结工艺制成的高温压力传感器，并利用电路温度补偿来提高传感器高温压力的测量精度。３５０℃下测得传感器的准确度为 ０．１％
【机 构】
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信息产业部电子第四十九研究所七室
【出 处】
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黑龙江大学自然科学学报
【发表日期】
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2001年04期
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