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老炼筛选试验是有效剔除内含固有工艺缺陷的半导体器件,以及保证半导体器件使用可靠性的重要途径。本文阐述了半导体器件早期失效的基本概念,并给出了半导体器件早期失效率的预计方法。在此基础上提出了半导体器件老炼筛选试验设计方法,以期最大限度地保证半导体器件出厂后的使用可靠性。
半导体器件老炼筛选试验设计
【摘 要】
：
老炼筛选试验是有效剔除内含固有工艺缺陷的半导体器件,以及保证半导体器件使用可靠性的重要途径。本文阐述了半导体器件早期失效的基本概念,并给出了半导体器件早期失效率的
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第二十四研究所,西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件重点实验室,中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆大学通信工程学院,
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
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2014年03期
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