【摘 要】
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对多晶硅的冷氢化闭合生产线进行了探讨,总结出一条低能耗、高产量的闭合循环生产线。主要包括如下几道工序:冷氢化,精馏,还原,还原尾气回收,歧化等。冷氢化工序进行冷氢化反
【机 构】
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辽宁石油化工大学材料与化学学院; 辽宁石油化工大学石油化工学院;
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对多晶硅的冷氢化闭合生产线进行了探讨,总结出一条低能耗、高产量的闭合循环生产线。主要包括如下几道工序:冷氢化,精馏,还原,还原尾气回收,歧化等。冷氢化工序进行冷氢化反应,主要包括固定床反应器、沉降器以及气提塔等设备。来自于气提塔的氯硅烷液体通过四级精馏塔进行分离,最后得到精制三氯氢硅。精制三氯氢硅进入还原系统生产多晶硅。还原工序尾气经过两级精馏塔进行分离。回收的二氯二氢硅与四氯化硅经过提纯后进入歧化系统,反应制得三氯氢硅。如此几套工序循环进行可以实现多晶硅的闭环生产,做到系统内部的氯化氢、氯硅烷等系统消化,对环境的污染降到最低。
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