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简单介绍了典型离子注入机的组成，分析了离子注入机中扫描技术的重要性。随着集成电路工艺技术的提高，对离子注入提出更高的要求，侍统的批注入已不能满足当前的工艺，从而开发出了适应当前工艺的单晶片注入的机械扫描技术。这种注入技术解决了技术上的难题，也很好地控制了成本风险，同时具有更高精度、更少污染等一系列优点，成为当前高端离子注入机机械扫描技术的首选。本文对国内外技术进行了对比，对国内离子注入机机械扫描技术的发展进行了展望。