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本文描述了二维模型下电容耦合的直流放电计算过程.发展了适用于任意结构下非正交坐标系的算法.提出了决定边界条件的相关技术.程序设计中发展了网格生成系统,使程序更适用.并且用图表说明了半导体机械中的一种典型的应用.
任意结构的电容耦合直流放电的数值模拟
【摘 要】
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本文描述了二维模型下电容耦合的直流放电计算过程.发展了适用于任意结构下非正交坐标系的算法.提出了决定边界条件的相关技术.程序设计中发展了网格生成系统,使程序更适用.
【机 构】
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湛江海洋大学工程学院,
【出 处】
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湛江海洋大学学报
【发表日期】
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2004年期
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