【摘 要】
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设计了一种新型静电驱动双向平动的MEMS变形镜,其结构包括3部分:中央下电极,4个静电驱动杠杆结构以及反射镜面(上电极).该变形镜有两种驱动模式:向下驱动模式和向上驱动模式.
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,中国科学院研究生院
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设计了一种新型静电驱动双向平动的MEMS变形镜,其结构包括3部分:中央下电极,4个静电驱动杠杆结构以及反射镜面(上电极).该变形镜有两种驱动模式:向下驱动模式和向上驱动模式.在向上驱动时,4个杠杆结构实现了位移的放大；向下驱动时,利用了非线性弹性系数法扩展了镜面的平动范围.采用表面硅工艺完成了变形镜的加工.通过白光干涉仪对变形镜的测试表明:在向上驱动模式下,变形镜在驱动电压为31V时位移达到1.1 μm；在向下驱动模式下,变形镜在6V的驱动电压下位移达到1.1μm.变形镜的总行程为2.2 μm,达到了同样工艺下传统变形镜的3倍左右.
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