【摘 要】
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用能量色散X射线谱仪和电子探针,研究两种含有第二相沉淀和喷射弥散强化镍基合金的阴极溅射表面微观形貌,发现形成的溅射锥体是由于第二相沉淀和氧化物质点的存在,使局部溅射
【机 构】
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中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,
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用能量色散X射线谱仪和电子探针,研究两种含有第二相沉淀和喷射弥散强化镍基合金的阴极溅射表面微观形貌,发现形成的溅射锥体是由于第二相沉淀和氧化物质点的存在,使局部溅射率改变和引起静电效应的结果。
The energy dispersive X-ray spectrometer and electron probe were used to study the micro-morphology of the cathode sputtering surfaces of the two kinds of second phase precipitates and jet dispersion strengthened nickel-based alloys. The sputtered cone formed was found to be precipitated by the second phase and The presence of oxide particles, the local sputtering rate changes and the result of the electrostatic effect.
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