【摘 要】
：
近年来随着电子产品的小型化发展,窄节距倒装芯片互连已经成为研究热点。传统的倒装芯片组装后底部填充技术(例如底部毛细填充)在用于窄节距互连时易产生孔洞,导致可靠性降低
【机 构】
：
清华大学微电子学研究所,北京信息科学与技术国家研究中心
【基金项目】
：
国产中道工艺高端封测装备及材料量产应用工程(2017ZX02519)
论文部分内容阅读
近年来随着电子产品的小型化发展,窄节距倒装芯片互连已经成为研究热点。传统的倒装芯片组装后底部填充技术(例如底部毛细填充)在用于窄节距互连时易产生孔洞,导致可靠性降低,因此产业界开发了面向窄节距倒装芯片互连的预成型底部填充技术,主要包括非流动底部填充和圆片级底部填充。介绍了这类新型底部填充技术的具体工艺及材料需求,并提出了目前其在大规模量产以及未来更窄节距应用中存在的问题及挑战,总结了目前产业界在提高量产生产效率、提升电互连的可靠性以及开发纳米级高热导率填料等方面提出的解决方案,分析了该技术未来的发展方向。
其他文献
2013年1月1日实施的新刑事诉讼法在我国确立了非法证据排除规则。但是我国的非法证据排除的现状如何？国外对于非法证据排除证明问题又有什么先进的经验？我国的非法证据证明责任
科学、合理地确定项目支出预算，对规范和强化企业支出管理，提高资金使用效益，保障企业专项工作任务的完成和企业事业的发展，都具有十分重要的意义。
针对脆性高聚物黏结炸药(polymer bonded explosive,PBX)的热应力破坏问题,开展了缺口药柱热冲击响应的数值模拟和实验研究。采用温度相关的热弹塑性模型对PBX药柱在50℃平衡
癌抗原125（CA125）是一种糖蛋白性肿瘤相关抗原，是卵巢肿瘤的诊断、复发和预后的指标之一。本研究对200例肝硬化患者与CA125的关系进行分析，以探讨其是否可以作为腹水发生的预测指
ADC测试中,使用同源时钟进行ADC数据采集并对静态指标进行分析时,出现严重的丢码现象,导致静态指标测试结果严重超差。基于此问题及引申出的其他问题进行相关分析,以此为基础
应试教育作为中国几千年来教育方式的主流，有着深厚的历史根源以及强大的文化背景，而新兴的素质教育，因为具有适应时代发展、满足党和国家要求等优势特点，两者形成了抗衡。此外，教
诸城是农业产业化的发源地，农业产业化已成为推进县域经济发展、促进农业增效农民增收的关键措施，但在实践过程中，农业产业化经营模式还不够全面，与一家一户尤其是专业大户之间的
晋东南地区秧歌是我国璀璨文化瑰宝中必不可少的一部分,为丰富我国人民精神生活做出了巨大贡献。本文以晋东南地区秧歌“武乡秧歌”为例,分析晋东南地区秧歌的起源发展和唱腔
会计文化就是在长期的实践活动中，逐步形成并为专家认可、遵循，带有会计特色的价值取向、行为方式、会计反映和监督作风、会计精神、道德规范、发展目标和思想意识等因素的总和