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提出采用厚膜技术设计一种一体化三维加速度传感器,其采用E型结构和特殊的组桥方式实现对三维加速度信息的检测.介绍了传感器的结构,并详细讨论了传感器工作原理和维间耦合问题.由于E型结构的对称性,使得所设计的三维加速度传感器在低量程、高灵敏度应用场合中具有良好的特性.
基于厚膜技术E型三维加速度传感器的设计
【摘 要】
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提出采用厚膜技术设计一种一体化三维加速度传感器,其采用E型结构和特殊的组桥方式实现对三维加速度信息的检测.介绍了传感器的结构,并详细讨论了传感器工作原理和维间耦合问
【机 构】
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中国科学院智能机械研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2001年9期
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