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为了克服传统的扫描探针显微镜（ＳＰＭ）在应用中的不足，采用微石英晶振来取代传统ＳＰＭ的具有复杂结构的微悬臂的激光位移检测装置，使成本极大地下降。通过对锯齿型光栅试件的检测，证明这种检测方法是可行的。同时在微石英昌振前端安装不同种类的细针，可实现ＳＴＭ，ＡＦＭ，ＭＦＭ与ＥＦＭ的测量，构成一机多能系统。