非晶态Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜的低波动阻变特性研究

来源 :湘潭大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lnld123

【摘要】

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基于化学溶液法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了非晶态Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜,研究了其表面形貌、介电特性和阻变特性.结果表明:非晶态Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜无明显晶界存在,

【作者】

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宋宏甲薛旦钟向丽王金斌

【机构】

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湘潭大学材料科学与工程学院,特种功能薄膜材料国家地方联合工程实验室

【出处】

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湘潭大学学报:自然科学版

【发表日期】

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2019年3期

【关键词】

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Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜非晶态阻变特性波动性 Bi 3.15 Nd 0.85 Ti 3 O 12 thin filmsamorphousr

【基金项目】

：

国家自然科学基金项目(11847106,11875229和51872251),湖南省自然科学基金项目(2018JJ3506),湖南省教育厅一般项目(17C1517).

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基于化学溶液法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了非晶态Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜,研究了其表面形貌、介电特性和阻变特性.结果表明:非晶态Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜无明显晶界存在,其P-E和C-V曲线无滞后特征,其I-V曲线展示了双极性阻变行为.高低阻态的导电机制研究表明该双极性阻变行为由氧缺陷导电细丝断开/连接主导.通过与氧缺陷导电细丝主导的晶态Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜基阻变行为对比,发现非晶态Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜阻变的波动性较小,这与

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