分子束外延设备的微机控制系统

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分子束外延设备是发展分子束外延技术的大型仪器.它用于生长新型的薄膜材料,以研究新材料、新器件、新效应.国产分子束外延设备经过几年的努力,已达到较高水平,但是要提高其性能,特别是为生长超晶格材料,计算机的控制是不可缺少的.我们为国产的分子束外延设备研制了第一台微机 Molecular beam epitaxy equipment is the development of molecular beam epitaxy technology of large equipment.It is used for the growth of new thin film materials to study new materials, new devices, new effects.Mapping molecular beam epitaxy equipment after several years of efforts, has reached a high level , But to improve its performance, especially for the growth of superlattice materials, computer control is indispensable.We developed the first microcomputer for domestic molecular beam epitaxy equipment
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