二级LSI—CAD系统的“VLSI工艺模拟程序”通过部级鉴定

来源 :北京邮电学院学报 | 被引量 : 2次 | 上传用户:liuguoqiangswu
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我院应用物理系在“VLSI 工艺模拟程序”的研究方面已取得了可喜的成果,并在去年12月由国家教委科技司主持的“二级 LSI-CAD 系统”部分成果鉴定会上通过了部级鉴定,获得到会专家们的好评。该程序是可在超级微型机上运行的功能齐全的一维工艺模拟程序。通过对20余例的实际工艺模拟,模拟结果与实测数据相当吻合,实用化程度较高。该程序同目前国际上广泛采用的 SUPREM-Ⅲ工艺模拟程序相当,具有八十年代的先进水平。参加开发的同志表示。将继续开展对 VLSI 工艺模拟程序的研究和创新工作,为推进我
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