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综述了超声电源的基本结构和发展历史，并从硬件上分析了超声电源的各种结构和不同控制方式的优缺点。进一步讨论了超声电源系统中频率自动跟踪、功率自动调节和阻抗匹配三项关键技术的实现及其优劣，并指出改善超声电源性能的具体措施。结合当前技术的发展以及超声振动加工的需求，指出超声电源的发展趋势及其设计思路。