【摘 要】
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设计了发夹型微带线带通滤波器,并通过电磁仿真软件高频结构仿真器(HFSS)进行优化。以高阻硅为衬底,以大厚度低损耗因子的苯并环丁烯(BCB)为介质,通过MEMS加工技术制作了中心
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院大学
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61574154).
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设计了发夹型微带线带通滤波器,并通过电磁仿真软件高频结构仿真器(HFSS)进行优化。以高阻硅为衬底,以大厚度低损耗因子的苯并环丁烯(BCB)为介质,通过MEMS加工技术制作了中心频率8.6 GHz、带宽为9%的X波段带通滤波器样品。给出了详细的工艺流程,并就关键步骤进行介绍。给出了仿真结果与测试结果的对比,测试结果与仿真结果基本相符,制得的滤波器具有良好的传输性能,可以满足8.2~9.0 GHz频率范围内的通信要求,表明提出的设计方法合理,可实现工程应用。
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