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针对薄膜透气性测试气体透过量、气体渗透系数受环境温度影响较大的问题，综合运用了半导体制冷技术以及具有高性能模拟特性和数字处理能力并集成了高性能外设的新型SoC模拟信号处理单片机MSC1210的PID恒温控制为该测试提供恒温环境，有利于提高测试的准确度．
薄膜透气性测试中基于半导体的恒温控制
【摘 要】
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针对薄膜透气性测试气体透过量、气体渗透系数受环境温度影响较大的问题，综合运用了半导体制冷技术以及具有高性能模拟特性和数字处理能力并集成了高性能外设的新型SoC模拟信
【机 构】
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广东工业大学自动化学院
【出 处】
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广东工业大学学报
【发表日期】
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2008年1期
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