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利用LICVD方法制备了纳米硅颗粒.研究了不同反应气体流量条件下,纳米硅微结构的转变规律,分析了制备工艺参数对纳米硅微结构的影响机制.研究表明,在激光功率密度恒定条件下,随着反应气体流量的增加,所制备纳米硅颗粒的尺寸逐渐变小,微结构中非晶态比例随反应气流的增加而增加.
纳米硅制备过程中微结构与反应气体流量之间的关系研究
【摘 要】
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利用LICVD方法制备了纳米硅颗粒.研究了不同反应气体流量条件下,纳米硅微结构的转变规律,分析了制备工艺参数对纳米硅微结构的影响机制.研究表明,在激光功率密度恒定条件下,
【机 构】
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中国海洋大学材料科学与工程学院,中国海洋大学材料科学与工程学院,山东大学材料液态结构及其遗传性教育部重点实验室,中国海洋大学材料科学与工程学院
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2004年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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